潔淨室潔淨第三方檢測相關的標準要求,都有哪些要求呢
更新時間:2022-12-02 點擊次數:1073
1、風速、風量變化次數
潔淨室和潔淨區的潔淨度主要是通過輸送足夠的潔淨空氣來置換和稀釋室內產生的顆粒汙染物來實現的。因此,需要對潔淨室或潔淨設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流方向和流型進行測量。
壓差檢測要求:
(1)靜壓差的測量要求潔淨區的所有門都關閉。
(2)在潔淨平麵上,應按照潔淨度由高到低的順序進行,直至檢測到通向室外的房間。
(3)測量噴嘴可以位於室內任何不受氣流影響的位置,測量噴嘴表麵與氣流流線平行。
(4)測量和記錄的數據應到1.0Pa
壓差檢測步驟:
(1)首先關閉所有車門。
(2)用壓差表測量潔淨室、潔淨室走廊、走廊與外界的壓差。
(3)記錄所有數據。
標準壓差要求
根據潔淨室設計或工藝的要求,決定維持被測潔淨室的正壓或負壓值。
(1)不同等級的潔淨室或潔淨區與非潔淨室(區)之間的靜壓差不應小於5Pa。
(2)潔淨室(區)與室外的靜壓差不應小於10Pa。
(3)空氣潔淨度等級嚴於5級(100級)的單向流潔淨室開啟時,室內工作麵在門內0.6m處的粉塵濃度不應大於相應級別的粉塵濃度限值。
(4)如果達不到上述標準的要求,應重新調整新風量和排風量,直至合格。