潔淨室檢漏的測試方法和應用原理

　　潔淨室檢漏通常采用PAO發生器在濾器上遊發塵，使用光度計檢測濾器上下遊氣溶膠濃度來判定濾器是否有泄漏。發塵的目的是因高效過濾器上遊塵粒濃度較低，僅用粒子計數器在不發塵的情況下檢測，較難發現有泄漏，需補充發塵才能明顯、容易地發現泄漏。當氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化後由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質產生的信號的對比，可以直接測量氣體中顆粒物質的質量濃度，因此其用途十分廣泛。

　　潔淨室檢漏的測試方法有：

　　1.DOP法，以光度計檢測，不如粒子計數法靈敏；

　　2.粒子計數法，以粒子計數器作為檢測儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用於超高效過濾器；

　　3.最易穿透粒徑法（MPPS），采用粒子計數器作為檢測儀器，使用的氣溶膠同時，與粒子計數法的區別是，以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑；

　　4.鈉焰法，此法采用火焰光度計，對NaCL燃燒的火焰色度作響應，靈敏度低，且NaCl對微電子產品質量有害國外已不用。

　　潔淨室檢漏安裝後的檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。光度計法一般用於帶小型空氣處理係統的潔淨室或安裝有氣溶膠注入點的管路係統，可達到規定的高濃度測試氣溶膠；由於粒子計數器法的靈敏性好和汙染少，一般都采用粒子計數器法進行高效空氣過濾器安裝後的檢漏。